“是衬底的预处理！”张远方指着实验记录，“我们之前的预处理流程，只做了清洗和烘干，忽略了表面的应力释放。碳化硅衬底在切割过程中，会产生微小的应力，如果不提前释放，在生长外延层的时候，应力就会导致晶格畸变，平整度自然就上不去了！”

他拿起一支笔，在纸上画出一个简易的流程图：“我建议，在预处理阶段，增加一道高温退火工序。温度控制在1200摄氏度，保温两小时，让衬底表面的应力充分释放。然后再进行清洗，这样就能从源头上解决问题！”

技术负责人凑过来看了一眼，恍然大悟：“对啊！我们怎么没想到这一点！张博士，你这一下就点醒了我们！”

“事不宜迟，立刻调整实验方案，今晚就做实验！”张远方大手一挥，语气斩钉截铁。

夜幕降临，实验大楼里依旧灯火通明。

外延生长炉的温度，缓缓攀升到1200摄氏度。通红的炉膛里，碳化硅衬底静静地躺着，接受着高温的淬炼。张远方和技术团队的成员们，守在监控屏幕前，眼睛一眨不眨地盯着各项参数的变化。

时间一分一秒地过去，每一秒都显得格外漫长。

两小时后，退火工序结束。衬底被取出，经过清洗、烘干，送入外延生长炉。

气体流量精准调控，温度缓慢上升，外延层在衬底表面，一点点地生长。

监控屏幕上，代表平整度的曲线，渐渐变得平稳、光滑，波动范围，稳稳地控制在了0.05微米以内！

“成了！成了！”技术负责人激动地大喊起来，声音里带着哭腔。