第一百九十二章 让人尴尬的手机壳

得知这个消息后,一直都非常关注光刻机领域进展的徐申学就跑过来看了,而且还是带着智云微电子那边的人一起过来看。

因为东西做出来了,成熟可商用了自然就要用啊……卖出去不指望,反正其他芯片工厂大概率是不要的……人家有更好的国外进口货可以选,犯不着用海湾科技这边的

当然,这光刻机就是一个大柜子,徐申学也看不出什么门道来,只能是看个热闹。

海湾科技的负责人王道林也知道徐申学不懂这玩意,所以解说的时候就说的有些简单直白:“我们的这这种光刻机,在国际技术路线上,应该算是第三代,不同于我们之前的上一代I-line光刻机采用的是接触接近式曝光,我们这个KRF光刻机的曝光方式是扫描投影式曝光,也被称之为扫描式光刻机。”

“而扫描曝光,也是更先进的DUV干式乃至DUV浸润式光刻机采用的曝光方式,技术原理是一样的!”

“通过研发这款KRF光刻机,某种意义上我们已经算是掌控了DUV光刻机的部分技术!”

“光源上,我们采用的是深紫外线光源,分辨率达到了248纳米,可以用于最小制程130纳米的芯片生产!”

“研发这款光刻机,进一步锻炼了我们团队的技术研发能力,同时也为DUV干式光刻机的研发打下了坚厚的基础!”

“后续我们的主要工作就是进一步优秀改进现有的光刻机平台,同时整合研发光源系统,争取早日把DUV干式光刻机做出来!”

“在光源上我们的兄弟公司南方光学的进展还是比较顺利的,他们已经对ARF光源进行前期的测试了,明年大概率就能够搞出来初步的ARF光源系统,而我们这边继续研发的话,整机系统有望明年年底拿出来!”

徐申学听罢后:“很好,继续努力做吧,希望明年年底能看到这个DUV光刻机!”

“还是我之前说过,你们只管努力做,资金问题不用担心,供应链这边有什么欠缺报告上来,我会安排人处理!”

“只要东西做出来了,也不用担心没市场,集团那边会提供充足的订单!”

“就和之前的I-line光刻机以及现在的KRF光刻机一样,你们只要搞出来更先进的DUV干式光刻机,订单是不用担心的!”

这个时候,陪着徐申学一起过来的智云微电子的总经理丁成军也开口道:“之前我们已经累计下单了三十三台的I-line光刻机,你们这个KRF光刻机如果通过我们的技术验收,价格方面也适合的话,今年内我们就可以给你最少二十台的订单!”

“这个KRF光刻机我们智云微电子的需求量还是很大的,不仅仅先进生产线里要用,在一些八寸线上生产一百多纳米的产品也需要大量用到!”

“如果你们能够搞出来DUV干式光刻机,那么订单就更多了,六十五纳米以及九十纳米制程,还是我们公司的主力制程,对DUV干式光刻机的需求量极大!”

“然后DUC浸润式光刻机的话,你们也要加快进度啊,这个光刻机太贵了,好几千万美金一台,你们早一点搞出来我们也能省点采购成本!”

听到丁成军这话,海湾科技的王道林却是面露难色!

光刻机问题,他们在I-line光刻机、KRF光刻机上都没遇到什么问,因为国内已经有了成熟可用的供应链。

但是DUV干式光刻机的话,那么问题可就比较大了,这玩意的ARF光源可不好搞……但是就算不好搞,他多少还有点信心在最近两年内搞出来。

至于DUV浸润式光刻机,说实话,王道林自己也不知道什么能搞出来。